Schlagwort: in situ Messtechnik

Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung

Martin Knaut erklärt in „Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomlagenabscheidung“ die Grundlagen der Schichtdickenmessung.